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              ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統
              • ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統

              ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統

              ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統 緊湊型模塊化主動隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動,多個獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡易,無需抬高及重新校準。

              ARISMD Pro主動隔振系統/主動減震系統/主動防震系統

              緊湊型模塊化主動隔振系統,能夠抵消影響超高精密設備或工具的振動,多個獨立的隔振器可承受高達4000Kg的大型設備負載,安裝簡易靈活,無需抬高及重新校準。



              主要優勢:

              ?1. 6自由度隔振

              ?2. 0.5Hz開始隔振有效增益

              ?3. 可變阻尼

              ?4. 內置人工智能功能

              ?5. 主動隔振頻率范圍可調整

              ?6. 遠程控制

              ?7. 內置實時診斷工具(頻譜分析儀、示波器)

              ?8. 震動模式(可選)


              應用領域:

              ?1. 電子顯微鏡(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)

              ?2. 半導體測試設備(光刻機、晶圓測試儀、電子束曝光機、CD_SEM)

              ?3. 掃描隧道顯微鏡/STM、掃描探針顯微鏡SPM、大型原子力顯微鏡/AFM

              ?4. X-Ray、CT、MPI

              ?......


              規格參數:

              Model/型號ARISMD300 ProARISMD500 Pro
              Dimensions/規格(mm)
              230x230x75
              230x270x75
              230x230x75
              230x270x75
              Load Capacity(Kg)

              100-300 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

              200-500 per Isolator (Module) Number of Modules unlimited

              Actuaotor Force/制動器力
              Vertical = 150N? ; Horizontal = 75N
              Active Isolation Range/主動隔振頻率
              0.5-100Hz
              Architecture/結構
              MVIS - Multi-layer Vibration Isolation Structure/MVIS-多層隔振結構
              Degrees of Freedom/自由度
              6 degrees
              Vibration Isolation Performance/性能
              ~8db gain on 1Hz?

              ~20db gain on 2Hz

              Setting Time/響應時間
              ≤0.1 sec
              Real-Time Diagnostic Tools
              實時診斷工具
              Built-in Real-Time 2 channels Oscilloscope, Real Time 2 channel Spectrum Analyzer
              Real-Time performance adjustment
              實時性能調整工具
              Adaptive Control in ALL 6 degrees of freedom in real-time. Remote Access
              Input Voltage/電壓
              AC 80-260V/50-60Hz

              ??





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